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VWS 光学系统

VWS 光学系统

产品概述

高性能视觉检测系统,集成光学成像与图像处理算法,为半导体晶圆及精密零部件提供自动化视觉检测方案。

产品核心特点

  • 高分辨率成像
  • 实时图像处理与缺陷识别
  • 支持在线/离线检测模式
  • 可定制检测算法
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主要技术参数

分辨率≤1μm/pixel
检测速度≤200ms/片
视场范围最大 50mm×50mm
接口GigE/USB3.0

应用场景

半导体晶圆缺陷检测、精密零部件质检、产线自动化检测

沪ICP备2026044261号-1